等离子增强磁控溅射技术与纳米复合结构涂层

摘要

本文介绍了等离子增强磁控溅射技术(PEMS)的基本原理,以及利用该技术所开发的纳米复合结构涂层,这种涂层的微观结构为纳米颗粒的复合材料-TiSiCN涂层,该涂层具有非常高的表面硬度,具有极好的防腐耐磨性能,同时该涂层的厚度可达560μm,且具有非常好的附着力和柔韧性,不易从基材脱落及脆裂.利用等离子增强磁控溅射技术沉积的纳米复合结构涂层性能良好,具有非常广泛的应用前景.