窗口层掺杂对反极性红光LED的ESD性能影响

摘要

利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD),对窗口层掺杂对反极性红光LED的ESD性能的影响进行研究.通过设计多组窗口层掺杂实验,来分析不同掺杂浓度对ESD性能的影响.实验结果表明,窗口层掺杂浓度的提高,能很好地增强ESD性能,但过高的掺杂浓度会降低发光效率,所以应被控制在合理的浓度范围内,并且验证出靠近电极部分的掺杂对ESD性能的影响更为显著.