用线激光激发实现高速荧光光谱扫描的方法

摘要

本文介绍了一种通过线激光激发,一次获得待测样片上一列荧光光谱的方法。通过激光滤波和聚焦成像,可将线激光投射在待测样片上的线状光斑,以线状荧光影像聚焦成像在光谱仪的狭缝入口处,通过光谱仪内第一柱状弧面反射镜、光栅、第二柱状弧面反射镜实现光谱分光,将分光后的光谱投射到光谱仪出光口处安装的面阵CCD上。通过控制计算机对面阵CCD的一次采集,可获得待测样片上一列荧光光谱数据,控制计算机采集过程与放置待测样片的水平运动机构相配合,可实时获得线状光斑扫过的待测样片区域上的荧光光谱数据。相比点扫描方式,这种线扫描方式在相同的扫描密度要求下,可大幅缩短扫描时间;在相同的扫描时间下,可获得更高的扫描密度。实际应用中,工艺人员可以通过快速完成的高密度扫描结果,获得更详细的荧光光谱信息。较传统的通过点激光激发荧光光谱的方法大幅提高检测效率。