某半导体厂房洁净室空调系统设计

摘要

随着现代工业的飞速发展,实验、研究以及生产的环境要求越来越高,各种不同用途,不同工艺的洁净厂房在各个电子工业园区中落户,本文以某半导体电子工业生产厂房为例,浅谈半导体厂房洁净室的空调系统设计。