ULSI多层金属布线热效应研究

摘要

研究了多层金属互连网络的热学模型,详细计算了不同的金属线厚度、金属线宽度对多层金属互连线温度分布的影响.实验结果表明,不同的金属线厚度和金属线宽度对多层金属互连网络各层的温度变化较显著,为集成电路设计师设计出高性能、高可靠性的芯片提供了理论依据.