一种用于光机热耦合过程中的非线性曲率拟合算法

摘要

在光机热耦合过程中,核心思想是如何把变形或光程差转化新的光学面型,一般习惯上用多项式的形式.文章提出一种算法可以使计算RMS达到10-13,计算精度可以达到10-16,实际案例中最大位移误差可以减少2个量级,从而最大位移量由116nm,下降到1nm左右.