影响金属细米薄膜沉积初期因素的模拟研究

摘要

昆明理工大学材料与冶金工程学院利用有限单元法对影响金属纳米薄膜生长初期的影响因素进行了计算机模拟。按膜料分为P1、P1-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等5种模式，采用刚性球入射到C或Si基层．重点研究了基底的硬度、半径差异比、原子入射角和沉积原子能量等参数对薄膜沉积的影响，同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性。