《硅及其氧化物的电化学——表面反应、结构和微加工》

摘要

电化学在硅技术中的重要性在过去的50年里激发形成了高度活跃的研究领域，产生了大量有关硅／电解质界面的实验数据和理论信息。该书是对这些数据和信息的全面地整理和归纳。