长春理工大学光电工程学院 吉林 长春 130022;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
长春理工大学光电工程学院 吉林 长春 130022;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
长春理工大学光电工程学院 吉林 长春 130022;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
中国科学院大学材料与光电研究中心 北京 100049;
中国科学院纳米光子材料与器件重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心 国家纳米科学中心纳米加工实验室 北京 100190;
中国科学院大学材料与光电研究中心 北京 100049;