扫描式分子气体电感耦合等离子体光谱仪

摘要

作者研制的扫描式分子气体电感耦合等离子体（ＩＣＰ）光谱仪，能用氧、空气等分子气体代替氩气作为工作气体，进行分子气体ＩＣＰ放电。克服了固氩气供应的困难给ＩＣＰ光谱仪的应用带来的限制。所用的ＲＦ发生器的功率为５ｋＷ，可以扩展用于ＩＣＰ光谱仪的固体进样系统的研究。所设计的气路转换系统和同心石英等离子体炬管等，使扫描式分子气体ＩＣＰ光谱仪既可用于分子气体ＩＣＰ放电，又可用于氩ＩＣＰ放电。作者还利用首次测量到的扫描式ＩＣＰ光谱仪出射光谱线峰漂移与温度、波长之间的函数关系，研制发明了扫描式ＩＣＰ光谱仪的智能波长校正装置（简称ＩＷＣ），并用定量方程式表达了这些函数关系。扫描式ＩＣＰ－ＩＷＣ光谱仪经过二年多的应用表明，用ＩＷＣ装置取代使用了近百年的局部恒温系统是完全可能的。扫描式ＩＣＰ－ＩＷＣ光谱仪无需预热，无需对每条分析线进行峰描迹，结构简单，使用方便，分析快速。样品元素成分的分析结果与标样鉴定值基本一致。测量精度为１．％。