首页> 中文期刊> 《光谱学与光谱分析》 >EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量

EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

采用蒙特卡罗方法,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟.给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量,进而可以有效地控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.

著录项

来源
《光谱学与光谱分析》 |2002年第5期|732-733|共2页
作者
董丽芳; 张玉红;
展开▼
作者单位

河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002;

河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类等离子体物理的应用;
关键词
化学气相沉积; 氢原子发射谱线; 电子平均能量;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度 [J] . 尚勇 ,董丽芳 ,王志军 . 光谱学与光谱分析 . 2005,第004期
2. EACVD中基片表面电子及氢原子能量分布 [J] . 董丽芳 ,张玉红 ,陈俊英 . 河北大学学报（自然科学版） . 2001,第001期
3. O2非平衡态等离子体中电子平均能量的谱线监测 [J] . 董丽芳 ,殷燕 . 光谱学与光谱分析 . 2005,第009期
4. 电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件 [J] . 董丽芳 ,尚勇 ,王志军 . 人工晶体学报 . 2005,第3期
5. EACVD中的Hα谱线与最佳生长条件 [J] . 董丽芳 ,王志军 ,尚勇 . 光谱学与光谱分析 . 2005,第010期
6. 应用与透射电子显微术相结合的电子能量损失谱(EELS)测定矿物中Ce和Fe的氧化态 [C] . 徐惠芳 . "世纪之交的中国矿物学"全国学术讨论会 . 2000
7. 改进的能量包线随机平均法与基于积分变换的平均FPK方程精确求解技术 [A] . 胡岩国 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号