近空间升华法制备CdS多晶薄膜的研究

摘要

系统地研究了近空间升华法(CSS)制备CdS薄膜沉积速率的影响因素.发现CdS薄膜的沉积速率随升华源温度的升高而增大,但随衬底温度和沉积气压的上升而下降.对所制备样品的结构、表面形貌和光谱透过率特性进行了测试,结果表明:(1)不同氧分压下沉积的CdS薄膜沿(103)晶向择优生长.CdCl2氛围下退火后,(103)晶向的优势得到进一步加强;(2)不同氧分压制备的Cds薄膜致密且粒径均匀,晶粒的大小随着衬底温度的升高而增大,但薄膜的粗糙度也随之增大;(3)随着CdS薄膜厚度的减小,可见光中短波段的透过率有所增大,有利于提高太阳电池的短波光谱响应.并将CSS制备的(CdS多晶薄膜用于CdTe太阳电池的制作,获得了10.29%的光电转换效率,初步验证了该制作工艺的可行性.