新型无纹波转矩的高精密环形电机设计方法

摘要

半导体制造装备中高精度运动控制技术的不断发展,对高性能永磁电机纹波转矩的抑制提出了更高要求.电机的纹波转矩严重影响了主轴系统的工作性能.设计了一种新型无纹波转矩的高精密环形电机,其磁轭可以提供理想的正弦磁通量分布,从而产生平稳的转矩.实验结果表明,该环形电机具有高精度、低温升等优异性能.