HL—2A真空室预装抽气、检漏试验

摘要

HL－2A真空室预装抽气系统由4套前级汇总式分子泵三级抽气机组组成，包括4套3500LS-1分子泵、2套600LS-1罗茨增压泵和2套70LS-1机械泵，对环有效抽速为6.4m3s-1(H2)。用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法（即双质谱法）分别进行零部件和真空室总体检漏，真空室总漏气率≤1.2×10-5Pam3s-1。采用有效除气措施后，HL－2A真空室预装本底压强为1．1×10-4Pa。