超细微粒空气过滤纸

摘要

以超细玻璃纤维和陶瓷纤维为原料，添加多元无机酸、酚醛树脂、乙烯－－醋酸乙烯共聚物、丙烯酸树脂、硅油等分散剂、增强剂和防水剂，在长网特种滤约机上生产出超细微粒空气过滤纸。本文详细论述了大规模和超大规模集成电路相关的无机纤维空气过滤纸的国内外现状，超细微粒空气过滤纸的特性，小生产试验使用的仪器、设备及生产工艺技术条件，并进行了该产品与国外同类产品各项技术指标的比较。