超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路U型槽隔离多晶硅填槽工艺

著录项

• 来源
  《上海半导体》|1991年第4期|15-16|共2页
• 作者

  谢明纲; 何德湛; 陈明琪; 吴佛春;

  展开▼
• 作者单位

  中国科学院上海冶金研究所;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 隔离技术;
• 关键词

  储氢; 合金瓶; 双极集成电路; 填槽工;

• 入库时间 2023-07-26 02:25:31