TaAgN复合膜显微结构、力学性能和摩擦性能的研究

摘要

采用非平衡反应磁控溅射法制备了TaAgN复合膜.利用X射线衍射仪、CSM纳米压痕测试仪和摩擦磨损测试了复合膜的显微结构、力学性能和摩擦性能.结果显示,TaAgN复合膜由面心立方结构的TaN相和底心斜方结构的Ta4N相组成.随着Ag靶功率的增加,硬度H、弹性模量E、弹性恢复We和H3/E2值均呈先升高后降低的趋势,最大值分别为34 GPa,394 GPa,57％和250 MPa.随着Ag靶功率的增加,TaAgN复合膜室温下的平均摩擦因数呈降低趋势.当Ag靶功率为25 W时,随着温度的升高,TaAgN复合膜的平均摩擦因数逐渐减小.