日开发出新型电荷耗散剂

摘要

日本昭和电工公司（SDK）最近开发出Espacer 300F，这是电荷耗散剂（charge dissipating agent）的一种新品级。在制造集成电路时，它能显著地提高电子束（EB）平版印刷技术的效率。