光化学蚀刻实验线的一些问题研究

摘要

本文主要对光化学蚀刻实验线的一些问题进行了研究。测定了曙光机的光密度均匀区数据以及曙光图形线宽分布数据，为实验线提供了保证曙光质量的定量依据。还测定了实验线所用工业三氯化铁溶液的自由酸度，研究了蚀刻性能与自由酸度的关系，给出了能获得较好地蚀刻质量的蚀刻液自由酸含量范围。