CG6300系列FEB测长仪 日立高新技术公司

摘要

日立高新技术公司发布了FEB（Field Emission Beam，场发射电子束）测长装置的新产品CG6300。该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产时的工艺控制需求，预定2015年10月开始销售。