我国科学家率先实现基于石墨烯的各向异性刻蚀技术

摘要

据来自中科院的消息，最近，中国科学院物理研究所的几个研究小组共同合作，在中科院“百人计划”、国家自然科学基金和“973”项目资金资助下，利用自制的远程电感耦合等离子体系统，首次成功实现了石墨烯的可控各向异性刻蚀。这种基于石墨烯的各向异性刻蚀技术是我国科学家在该研究领域中独具特色的工作，相关结果发表在国际知名杂志Advanced Materials上，并得到了审稿人的高度评价。