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固态传感器; 国际会议; 第16届; 微系统; 执行器; 中国科学院; 技术领域; 学术会议; 电子学;
机译:EUROSENSORS XXII特刊第22届国际固态传感器,执行器,微系统和纳米系统国际会议,德累斯顿,德国,2008年9月7日至10日,前言
机译:微传感器,微执行器和微系统的CAD挑战
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:第八届固态传感器和执行器和执行器国际会议
机译:用于高性能微传感器和微执行器的多功能硅微加工技术。
机译:应用于固态纳米孔传感器的微流体系统
机译:国际会议报告:换能器2013年第17届固态传感器,执行器和微系统上的第17次国际会议
机译:固态传感器和执行器研讨会于1988年6月6日至9日在南卡罗来纳州希尔顿黑德岛举行
机译:带有微铣刀的机床的刀具位置测量和微调系统,包括刀具压力传感器,控制电路和压电微执行器
机译:Adaptronic-combi-module例如用于汽车和飞机的微系统中包括传感器型和执行器型微元件
机译:测量传感器检测微系统中的力,例如由微执行器产生的
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