溅射SiO2薄膜的电气性能

摘要

本文介绍了一种在金属弹性和应变电阻之间制作了ＳｉＯ２绝缘膜的方法，并对基底表面状况，溅射条件对ＳｉＯ２膜绝缘性能的影响做了实验研究，实验结果表明，在良好的基底表面，合适的基底温度和调谐偏压下可制备出性能良好的ＳｉＯ２膜。