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吕惠民; 田敬民;
西安理工大学应用物理系;
西安量工大学微电子系;
线性度; 灵敏度; 膜片; 压力传感器;
机译:采用干膜屏蔽方法的压阻式压力传感器的晶圆级芯片级封装
机译:MEMS压阻式压力传感器具有增强的线性度和增强的灵敏度
机译:压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的仿真程序
机译:压阻式压力传感器的优化设计,可改善线性度和灵敏度
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:用于全SiC压阻式压力传感器应用的SiC密封腔结构的制造
机译:压阻式压力传感器:对超高敏感压阻式压力传感器的协同抗性调制(ADV。Mater。Technol.4/2020)
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器
机译:压阻式压力传感器和生产压阻式压力传感器的过程
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