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集成电路技术发展的物理极限挑战与对策

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摘要

介绍了集成电路芯片发展的基本规律和现状 ,着重综述了这些规律在微电子学领域所遇到的物理极限挑战及解决这些问题的最新技术 ,并预测了 2

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来源
《微纳电子技术》 |2001年第5期|17-21|共5页
作者
邝小飞; 金湘亮;
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作者单位

零陵师专物理系;

中国科学院微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
集成电路; 摩尔定律; 等比例缩小规律; 集成系统; 量子器件;

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