吉时利联手研发65nm以下先进工艺特征分析技术

摘要

吉时利仪器日前宣布将与Stratosphere Solutions公司合作，采用阵列TEG（测试元件组）技术展开先进工艺研发和监测工作。双方的合作为彼此客户提供一种独特特征分析基本架构，使用吉时利S600系列参数测试仪和StratoPro IP实现大容量、高产能、高可靠参数测量解决方案，确保客户成功实现先进半导体工艺。