EUV光刻机:在微妙之间竞赛

摘要

10月14日,半导体巨头、全球光刻机领头企业阿斯麦(ASML)首席财务官罗杰·达森对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示,阿斯麦可以从荷兰向中国出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。但讲话并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。