高结温SiC陶瓷封装硅堆的工艺研究

摘要

以研制SC2CL2A/8KV SiC型陶瓷封装硅堆的研制为例,阐述了高结温SiC陶瓷封装硅堆的工艺研究,并对封装成型的硅堆产品特性加以验证。