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复合功能电子学

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微电子学发展逻辑一切技术的发展,都要受该技术自身发展逻辑的约束。硅微电子技术(以下简称硅技术)是一种通过一系列的微细加工方法,将电子器件嵌镶在硅衬底上,并互连成电子功能的技术。从方法论上讲,实质上是'硅上印制电路'

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来源
《科学》 |1995年第4期|16-18|共3页
作者
许居衍; 郑茳;
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作者单位

东大-华晶无锡微电子应用研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微电子学; 复合功能电子学; 电子学;

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