半导体集成电路可靠性测试及数据处理方法分析研究

摘要

在对产品使用时间进行分析中，可靠性属于全新的一门学科，能够明确反映产品质量。在运用全新工艺和材料的条件下，半导体集成电路线宽逐渐降低，提升了集成度，对其可靠性的要求也更加严格。主要对半导体集成电路的可靠性测试进行了介绍，并分析了处理数据的2种方法，即热载流子注入测试和栅氧化层测试，从而有效提高了半导体集成电路的可靠性。