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半导体集成电路可靠性测试及数据处理方法分析研究

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摘要

探讨了半导体集成电路可靠性设计技术,分析了栅氧化层测试技术与数据处理方法,介绍了斜坡电压测试和介质击穿的实验两种方法,并给出了热载流子注入测试技术与数据处理方法.

著录项

来源
《电脑编程技巧与维护》 |2016年第10期|52-53,60|共3页
作者
马俊;
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作者单位

长沙医学院,长沙410219;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
半导体集成电路; 可靠性测试; 数据处理;

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