利用量子化学方法研究CVD反应机理

摘要

详细介绍了通过量子化学结合统计及经典热力学对CVD体系进行的化学反应热力学研究,阐述了国内外相关的研究进展,指出了研究CVD反应机理目前存在的问题以及未来研究的重点,介绍了如何通过可靠的理论计算建立CVD体系相对完整的热力学数据库,以及对CVD体系反应机理的理论预测方法。