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微电子行业工艺冷却水的热能回收

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摘要

对某微电子厂房的工艺冷却水、纯水的工艺现状和运行数据进行分析,提出在冬季用工艺冷却水回水余热预热地水原水,这样即节省了冬季用于预热纯水原水的蒸汽,又减少工艺冷却水系统的冷冻水用量,取得一举两得的节能效益.

著录项

来源
《科技创新导报》 |2011年第20期|83-83|共1页
作者
周志辉; 王丽雅;
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作者单位

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司,江苏无锡,214071;

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司,江苏无锡,214071;

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正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
工艺冷却水; 纯水原水; 冷冻水; 蒸汽; 板式换热器;

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