论磨石、毛刷组合对硅晶体表面处理的影响

摘要

抛光工序作为晶体硅太阳能行业重要的一个工序，将硅锭经过钢线摩擦切割成硅块后，硅块表面变得粗糙不平，必须经过表面抛光才能进行硅片的切割。硅块表面的抛光直接影响硅片切割的质量。硅块在抛光过程中的磨石①有粗砂轮、细砂轮、金刚砂砂轮、毛刷②四种抛光材质。该文对四种材质磨石分别比较。首先对比粗砂轮、金刚石砂轮在处理硅块表面的“鼓肚”和大锯痕切割现象的差异，确定哪种材质效果更好；再使用此种材质砂轮分别配合细砂轮和毛刷精抛，通过抛光后粗糙度对比确定哪种材质精抛效果好。