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基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实项

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摘要

CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要.本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入.

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来源
《科技信息》|2011年第36期|64,66|共2页
作者
刘颖; 厉鲁卫; 夏诗怡;
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作者单位

浙江农林大学信息工程学院;

浙江农林大学信息工程学院;

浙江农林大学信息工程学院;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
化学气相沉积; Windows Mobile; 晶圆镀膜工艺参数;

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