半导体CVD真空镀膜监控系统的设计

摘要

为了满足半导体产业发展的需求,本文介绍了一套基于工业PC和PLC的真空设备远程监控系统.内容包括CVD真空镀膜监控系统的工艺,结构以及工作原理,并对该控制系统的软件功能进行了描述.对该系统的监控效果进行了大量的测试.试验结果表明,人机交互性良好,性能稳定,可以精确的远程监控反应过程,并对各个被控量的信息进行实时存储、分析.有效地对现场设备进行管理,保证了系统的准确运行,提高了效率.