近等原子比TiNi合金薄膜的组织及相变动态观察

摘要

采用磁控溅射法制备TiNi非晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等方法研究了TiNi合金薄膜的组织形貌、电子衍射花样,并对其相变过程进行了动态观察.结果表明:态薄膜为非晶态,对其在515℃进行1 h的晶化处理后,薄膜中析出了TiNi3相;晶化处理后的TiNi合金薄膜加热到100℃时,薄膜中R相和马氏体相以切变方式完全转变为奥氏体;当冷却至室温时,是以R相、马氏体相以及少量的奥氏体相存在.其加热过程中的相变顺序为:马氏体相→R相→奥氏体相.冷却过程中的相变顺序为:奥氏体相→R相→马氏体相.