原位低温激光淀积高T_c超导薄膜

摘要

本文利用激光剥离超导靶材的技术,在衬底温度低于600℃的条件下,原位生长出零电阻温度达92K,临界电流密度～10~5 A/cm^2(77K时),晶体结构为c轴垂直于表面择优取向的优质钇钡铜氧化物超导薄膜.研究了制备条件——激光参数、氧气环境、基片温度和沉积时间等对所长成薄膜的超导性能的影响,并对造成影响的原因进行了讨论。