激光扫描淀积原位生长高Tc超导薄膜

摘要

用激光束扫描淀积的方法 ,成功地在 Zr O2 (Y)、L a Al O2 基片上原位生长高质量的YBa2 Cu3 O7-x高温超导薄膜 ,其临界温度达到 90 K以上 ,SEM及 XRD分析表明 ,薄膜沿 C轴择优外延生长 ,其结晶性很好 ,表面光滑均匀