图案化TiO2薄膜的制备技术

摘要

按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法3大类.可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案.掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等;硬质模板法也称软刻蚀技术,分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术.本文综述了图案化TiO2薄膜的制备技术,对每类方法的优缺点作了评述,对今后图案化TiO2薄膜制备的研究方向提出了一些建议.