基于2^(3)单次重复析因设计的等离子除胶量及均匀性建模

摘要

本文采用2^(3)单次重复析因设计,研究基于不同约束条件下等离子体对除胶量及均匀性的响应特性,通过改变射频功率、温度、气体比例等参数,使试验结果稳态响应特性得到改善。试验结果显示,除胶量主要取决于温度与射频功率、除胶的均匀性主要取决于气体比例。最后将试验收集的数据进行响应面分析,从而对生产参数进行优化。