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工艺工作中存在的若干错误观点及我的基本认识

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摘要

列举了电子互连工艺研究中的若干错误观点,提出了个人对工艺工作的基本认识,希望有助于树立正确的工艺研究观,促进我国电子互连工艺技术向更高、更强的方向发展.

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来源
《印制电路信息》 |2004年第8期|11-15|共5页
作者
陈文录;
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作者单位

江南汁算技术研究所,214083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
工艺研究; 基本认识;

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