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高阶ELIC制程管制重点和工具系统研究

             

摘要

高阶ELIC越来越多的应用在高端手机、平板电脑等消费电子产品中.文章主要研究100 μm盲孔ELIC产品的制作,涉及关键工序控制方法和工具系统的处理,以使微盲孔的整体对准度偏差在±50μm,同时对HDI制作过程的品质管制工具进行讨论.

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