纳米级针尖制备控制系统设计与实现

摘要

制约扫描隧道显微镜分辨率的一个关键因素是其使用的针尖不够尖锐,如何制备出更加尖锐的针尖是当前扫面电镜分辨率突破的一个重要方面.在传统的制备工艺基础上,一种基于化学刻蚀和场致刻蚀的工艺流程可是实现制备纳米级针尖.本文介绍了该针尖的制备控制系统的设计与实现.该针尖的制备有其特殊性,据此开发了对应的控制系统,包括高压电源、控制箱、控制卡、相机等及对应的上位机控制程序,经实践验证,能够实现对超级针制备的工艺控制及数据记录.