阳极氧化工艺对氧化铝纳米孔膜形成过程及结构的影响

摘要

采用高纯度的铝片为阳极,以铂网为阴极,在3%～5%草酸溶液中,电压在30～70 V,温度控制在17～25℃范围内进行恒压阳极氧化制备氧化铝膜,并采用环境扫描电镜观察纳米孔形貌,金相显微镜测量氧化膜厚度.研究了电解电压、电解液浓度、温度等条件对氧化铝多孔膜结构的影响.结果表明:氧化膜形成速度、纳米孔孔径、胞径、孔壁厚度、氧化膜厚度受电解电压影响显著,随着电解液浓度和温度的增大,氧化膜生长速度加快,纳米孔孔径、孔壁厚度等都随之增大,在相同时间内生成的氧化膜厚度增大.