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薄膜和多层膜的X射线散射方法与应用

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摘要

文章主要介绍了几种X射线散射技术,包括X射线小角反射技术、X射线漫散射技术、掠入射X射线衍射和多晶薄膜的小角衍射技术.通过具体的事例说明这些X射线散射方法在薄膜研究中的应用.

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来源
《物理》 |2007年第7期|516-523|共8页
作者
张爱梅; 吴小山;
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作者单位

南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系 210093;

南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系 210093;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
薄膜; X射线散射; 微结构;

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