自准散射板干涉仪

摘要

一、前言自从1953年Buch发明散射板干涉仪以来,它在理论研究和实际应用方面都受到了相当的重视和发展。散射板干涉仪具有结构紧凑、抗振性能好、不需要参考表面、检测口径大等优点,对检测凹球面镜、透镜、平面镜等具有旋转对称性并能形成自准点的各种光学元件或光学系统特别合适;根据折射率的差异,还能检测透明物体的均匀度。