基于同极联动结构的一种角度/位移电容传感器

摘要

基于同极联动原理,通过调节极板正对面积,设计了一种角度、位移连续可调的双参数电容式传感器.实验和理论研究表明,角度测量范围和分辨率为16°和0.16°;位移测量范围和分辨率为10.02 mm和0.1 mm.该传感器具有无可移动部件、成本低、线性度高和分辨率高等优点.