自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素

摘要

从微小内尺度测量角度出发 ,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响。结果表明 ,为提高系统的轴向分辨率 ,需将有效针孔尺寸控制在≤ 2 .5 ;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位 ;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜 ,同时 ,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比。