基于激光回馈效应的细微单颗粒测量方法

摘要

针对其它光学方法对于单颗粒参数测量的不足，提出基于激光回馈效应的细微单颗粒测量方法。该方法利用激光器附加谐振腔内运动的细微颗粒后向散射作用产生的激光回馈效应，通过测量激光器输出光能的变化测量和计算颗粒的尺寸、速度和数量等参数。实验装置采用He-Ne激光器附加凹面全反镜和会聚透镜共焦式设计的附加谐振腔，在共焦测量敏感区首先对于标准尺寸和运动速度的单颗粒测量定标，建立标准对照图谱，再将被测量颗粒的反馈脉冲电压同标准图谱比对得到相关颗粒信息。研究表明，该方法简单易行，重复性好，测量范围为0．2～2000μm，分辨率达到0．2μm，测量误差能够达到2％。